Enfin, d’autres caractéristiques des couches telles que l’anisotropie, la non-uniformité, la nature des phonons et la concentration en dopants peuvent être déterminées. Oùrpetrssont les coefficients de Fresnel complexes correspondant au système couche-substrat, etΨetΔsont les paramètres mesurés par l’ellipsomètre, reliés respectivement à l’amplitude et à la phase derpetrs. La mesure de la phase (Δ) est particulièrement sensible à l’épaisseur des couches et permet de détecter des variations de l’ordre de l’angström. L’indice de réfraction peut être obtenu de manière absolue avec une précision de l’ordre de 10-3et de manière relative avec une précision ≤10-4. La modélisation du comportement de la gaine de Debye dépend de l'état de la surface de la sonde et du comportement des électrons dans le plasma. Il est donc difficile de l'appliquer dans des systèmes où les conditions de surface de la sonde ou la gamme dynamique de mesure varie plus vite que la mesure (modification de la surface de la sonde ou présence de champs magnétiques). Une cellule à trois électrodes peut aussi être utilisée afin de caractériser des matériaux actifs. Par exemple, les matériaux électrochromiques tels que le WO3, le NiO, le V2O5et autres oxydes semi-conducteurs voient leurs propriétés optiques changer via l'insertion combinée d'électrons et d'ions. La figure ci-dessous présente la signature voltammétrique d'une couche mince de WO3amorphe, matériau électrochromique largement étudié au LaRFIS (voir article B. Baloukas et al.). En analysant une telle courbe, il est possible de déterminer la vitesse de diffusion des espèces ioniques à travers la couche, le ratio entre les charges insérées et extraites, les courants anodiques et cathodiques, sepmetrologie.com déceler la présence de réactions secondaires, etc. Le système ESPion de Hiden Analytical automatise la prise de mesure en fournissant une rampe de tension programmable et un déplacement axial motorisé. Il est alors possible de mesurer les variations dynamiques et spatiales du plasma au sein de la chambre. Le traitement des données est intégré au sein du logiciel ESPionSoft ou analytiquement dans le cadre de plasma déviant des conditions optimales de mesure. Le rayon de courbure est quant à lui obtenu en mesurant l’angle de déflection d’un rayon laser à la surface du substrat. Ainsi, le substrat et la couche mince doivent être suffisamment réfléchissants (non-diffusifs) à la longueur d’onde de mesure, soit 670 nm dans ce cas-ci. Micro Scratch Tester » (MST®), CSEM est utilisé pour caractériser les propriétés surfaciques micromécaniques et microtribologiques de revêtement et de couches minces, c’est-à-dire l’adhérence, la dureté, le coefficient de friction et la résistance à l’usure. En effectuant une rayure à la surface de l’échantillon avec un stylet en diamant de type Rockwell C, le MST mesure l’émission acoustique, la force normale à l’échantillon, la force de frottement et la profondeur de pénétration. Sfint, spécialiste de la mesure de la température, présentera son offre complète d’étalonnage de capteurs de température, de contrôles sur site et de mise en conformité d’installations thermiques. Sfint fabrique également des capteurs de température sur-mesure fabriqués dans son unité de production à Marolles-en-Brie , que vous pourrez retrouver sur le stand. Une balle solide recouverte et fabriquée en un morceau, ce qui en fait le SMR plus robuste sur le marché. Pour les étalons de fréquence optique et de longueur d'onde, on s'adressera au groupe du temps et de la fréquence.